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株式会社ティサポート

全商品 > 真空ゲートバルブ

★ HTC社 超高真空(UHV対応)ICFゲートバルブ
 
   ★価格,ぜひお問合せ下さい!!
超高真空ICF70ゲートバルブ(手動式 圧空式)

超高真空ICF114〜ICF253ゲートバルブ(手動式 圧空式)

 ※超高真空対応
(ボンネット: メタルシール)

価格
(税抜き)
納期
手動式 ICF70   45.4 52 51 63 90 88 119 111 230 ¥148.000  在庫有り
手動式 ICF114 69 76 46 112 145 189 251 183 434 ¥230.000  在庫有り
手動式 ICF152 73 76 46 142 178 224 305 183 486 ¥300.000  在庫有り
手動式 ICF203 78 76 51 195 232 294 392 260 652 ¥397.000  在庫有り
手動式 ICF253 82.4 78 51 243 277 348 472 260 732 ¥546.000  問合せ
 超高真空対応                        
圧空式 ICF70  45.4 52 53 63 90 88 119 135 254 ¥165.000    約1ヶ月
圧空式 ICF114 69 76 94 112 145 189 251 218 469 ¥252.000    約1ヶ月
圧空式 ICF152 73 76 94 142 178 224 305 218 523 ¥328.000    約1ヶ月
圧空式 ICF203 78 76 114 195 232 294 392 245 637 ¥442.000    約1ヶ月
圧空式 ICF253 82.4 78 114 243 277 348 472 245 717 ¥576.000    約1ヶ月

★価格,ぜひご相談下さい。
 
 (※以下価格は、定価です)

※超高真空(UHV)対応の真空ゲートバルブ

※NW(KF)規格, ISO規格, JIS規格のゲートバルブも有ります
※NW(KF)規格, ISO規格, JIS規格のゲートバルブも有ります
(注意) 
※納期の“在庫有り”につきましては在庫状況が刻々と変化しておりますので,
   お急ぎの場合は,
お問合せをいただきますようお願い申し上げます。
t-spt.sales@mbn.nifty.com
単位:mm

超高真空ICF114〜ICF253ゲートバルブ

      株式会社ティサポート 

本  社:   〒576-0043 大阪府交野市松塚14-12
         TEL:072-895-3113  FAX:072-895-3114
東京営業所: 〒175-0094 東京都板橋区成増3丁目22-3 
                  コスモパレス102号室
        TEL:03-6904-1675  FAX:03-6904-1685
   
   

超高真空ICF70ゲートバルブ

■ バルブ共通仕様
項目 仕様
リークレート 5×10-10ATM・CC/SEC
仕様圧力範囲 ※超高真空対応 1×10-10Torr〜ATM  メタルシール
メンテナンスサイクル ICF70〜 ICF114: 100,000回
メンテナンスサイクル ICF152〜ICF253:  50,000回
ベーク温度  (※OPEN)) 200℃
ベーク温度  (※CLOSE)) 150℃
材質  (本体, 搬送部, ゲート部) SUS304
材質  (ベローズ) AM350
シール材 (※超高真空対応) 銅ガスケット: ボンネット / バイトンO-リング :ゲート
※オプション リミットスイッチ ,電磁弁, ポジションインジケーター
作動エアー圧 2.8〜5.6Kg/cm2

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